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MEMS精密加工
結合光罩基板鍍膜技術與複製微影以及玻璃蝕刻技術,冠橙可以提供單層的精細圖案產品,CD可達到5um,蝕刻深度可達到深寬比1:1。
應用領域:
光學鏡(Reticle)
ITO 測試鍵
微流道生物晶片
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