冠橙科技已建立自主玻璃加工能力，以自主握掌握光罩基板產品競爭力。從石英與光學玻璃的挑選低氣泡玻璃，
厚度減薄，石英切斷及磨邊(亮邊、霧邊)，到超平坦研磨等等。我司可提供的技術服務有:

  • 各式玻璃低氣泡挑選
  • 尺寸切斷及各式磨邊(NC/LC): 具有雷射、蝕刻、精細噴砂切斷能力。
  • 厚度化學及物理減薄: 具有玻璃lapping及化學減薄能力。
  • 邊與面的精細拋光: 平坦度可達2um，邊可以做到 LC亮邊。

切斷/減薄/精密拋光技術
青板光罩玻璃
產品介紹:
光學玻璃-鈉鈣玻璃Sodalime glass 、硼矽酸Borosilicate glass 、無鹼光罩
服務範圍:
低氣泡玻璃挑選，厚度物理/化學減薄，切斷裁切及端邊霧/亮邊加工/斜面/C,R角加工，超精細拋光，光學鍍鉻加工
加工尺寸:4006～800x960
加工尺寸:2.3t～10.0t

石英光罩基板
光罩合成石英，厚度物理/化學減薄，石英切斷裁切及端邊霧/亮邊加工
斜面/C,R角加工，超精細拋光，光學鍍鉻加工
加工尺寸:Q4006～Q800x960
超平坦研磨:(Q6025 <2um or 5um，Q9012~Q700800 30um)
加工尺寸:2.3t～10.0t

Wafer glass及光學玻璃
基板加工: 用於封裝之超平坦Carrier glass，切斷磨邊，厚度減薄，超精細拋光
供應0.3mm~1.1mmt glass

  • 直径:  Dia. 100, 150, 200, 300 mm........
  • 按照SEMI Standard .
  • 厚度:  50µm 到 3000µm.
  • TTV:  < 3 µm.
  • 表面粗糙度 (Ra):< 0.5 nm (MDF) 或 < 1.5nm (Standard).
  • 抛光等级:  雙面抛光, 單面抛光, 雙面霧化, 單面霧化.

各式磨邊NC/LC

各式磨邊NC/LC

量測平坦度

Wafer glass

Wafer glass