基板種類: 常用光罩基板是合成石英及青板玻璃，主要差異是可達穿透率的最低紫外光波長，熱膨脹係數 (TCE thermal coefficient of expansion)以及氣泡要求。合成石英是唯一在紫外光範圍(<300nm)仍具有穿透率>90%的基材，也具備比一般光學 1/10X的 TCE，同時無氣泡，是透光曝光最優光罩基板。在365-436nm i、g lines曝光機台，則以選擇青板光學玻璃為主，氣泡篩選及平坦度就必須挑選。TCE介於中間的硼玻璃或是無鹼玻璃常是另一選擇，冠橙可提供各種客製化基板需求，也可提供貴重石英基板的重工服務。
基板尺寸: 可提供尺寸小於800x960mm 的各式尺寸基板。厚度以業界標準的1.1, 1.5, 2.3, 3.0, 4.8-5.0, 5.8, 6.3, 7.8-8.0, 10.0t為主其他厚度屬於客製規格
基板規格: 基板尺寸規格以業界標準為主，可提供客製化規格服務。
基板磨邊: 因為曝光機定位問題，需要一般倒角或是大倒角，以及霧亮邊需求。我司可以提供客製化需求。
平坦度: 按曝光尺寸精度，我司可以超精密平坦度規格基板。
各種基板穿透率光譜比較
各種基板熱膨脹係數(TCE)比較
■ 石英: 合成石英具有至190nm仍具有高穿透率、低熱膨脹係數(TCE)以及無氣泡的曝光完美基板。但是合成石英較青板玻璃貴x5以上。
冠橙具有基板重工能力，可以為客戶提供石英回收重製服務。
■ 基板選擇: TCE介於中間的硼玻璃或是無鹼玻璃常是客戶另一選擇，冠橙可提供各種客製化需求的基板。
基板尺寸規格
基板詳細規格
基板磨邊、平坦度規格
