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電鑄模具
結合光罩鉻膜鍍膜、光罩直寫及隨後的玻璃蝕刻技術,冠橙可以提供電鑄精細模具。模具圖案CD可達到5um,蝕刻深度可達CD的1/5。
模具按CD尺寸大小,蝕刻深寬底和光罩直寫能力可分為:
石英玻璃模具: CD>2um,深度0.3um,模具尺寸800x960x8t
Soda lime玻璃模具: CD>5um, 深度 <1.5um, 模具尺寸 800x960x8t
深度超過玻璃模具限制,可以用光阻厚度當模具,使用Liga製程。
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